Platine froide LN2 80K pour MEB

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Platine refroidie à 80K à monter sur la platine MEB/FIB.

Installation sur tout type de MEB

Ce module cryo s’installe sur tout type de MEB grâce à son interface adaptée. La géométrie de cet échangeur froid au sein du corps du cryostat (la chambre « whirlpool ») fonctionne avec un niveau de vibration très bas et une consommation minimum d’azote liquide. De l’azote liquide ou de l’azote gazeux circulent dans le module pour refroidir sa surface.
Le contrôleur PID intégré permet de réguler la température de l’ambiante jusqu’à 80K. Un système à queue d’aronde spécifique permet d’utiliser la platine également sur un MEB disposant d’un sas de chargement.

Le porte échantillon (qui est isolé pour permettre les mesures de courant sur l’échantillon) est équipé d’une cage de Faraday, les câbles de connexion et de transport de l’azote liquide jusqu’à l’interface mécanique adaptée au MEB et qui est fournie. Le système de connexion à 4 contacts électriques se connecte facilement durant le montage de la platine dans la chambre du MEB. Le système est adapté à l’observation d’échantillons semi-conducteur à basse température en mode contraste de tension.

Plusieurs modèles de module sont disponibles avec différents types de systèmes de fixation des échantillons.

Description
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Spécifications

Contrôleur de température

Le contrôleur PID (ou manuel) intégré permet de réguler la température jusqu’à 80K. Le contrôleur prend en compte tous les paramètres de chauffe et de refroidissement et peut être utilisé après une première routine d’apprentissage.

Il est possible de sélectionner une rampe chaude/froide continue pour étudier (lorsque l’on travaille vers le +100°C) l’échantillon à un taux de chauffage/refroidissement constant. Le chauffage intégré permet également d’atteindre des températures entre le froid de l’azote liquide et la température ambiante. Le contrôleur prendra en charge la consigne de refroidissement jusqu’à la température voulue et sans oscillations. Le module manuel est piloté par l’utilisateur pour l’asservissement à la température voulue.

Peltier Module with air-lock compatible sample holder

Peltier Module without sample holder

Intégration du module dans le MEB

Le système est monté dans le MEB comme un échantillon de grande taille avec un système à queue d’aronde. Il est possible de tilter le module dans la chambre.

Module froid

Les dimensions du module sont les suivantes : 100 x 60 x 30 mm. L’élément chauffant central est équipé d’un bouclier de protection thermique multicouches. La surface de contact est minimisée pour garder les transferts de température entre l’échantillon et la structure du module à un très bas niveau.
Différents systèmes de fixation de l’échantillon sont possibles.

Platine refroidie à 80K à monter sur la platine MEB/FIB.
Les températures atteignables sont dans la gamme -190°C jusqu’à +100°C.

 

Spécifications du module

  • Dimension du module froid : 100 x 60 x 30 mm
  • Poids : 500 gr.
  • Taille de l’échantillon : jusqu’à 30 mm de diamètre.
  • Vitesse de chauffage maximum : 3°C/s max.
  • Capteur de température : PT100.
  • Gamme de température : -190°C à +100 °C.
  • Stabilité en température : < 0.1°C (PT100).

Spécifications du contrôleur

  • Dimension : 295 x 320 x 125 mm
  • Poids : 7 kg.
  • Tension d’entrée : 115/230V, AC 50-60Hz.
  • Puissance consommée : 250W maximum.
  • Tension de chauffe : 0-45V, DC
  • Courant de chauffe : 2.5A
  • Interface : RS 485 / USB