Porte-objet MET Double tilt CLS

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Equipé d’une cartouche amovible pour flux de travail avec SEM/FIB.

Le porte-objet MET double tilt CLS a été développé en collaboration avec l’université Kyushu au Japon.

Valeur de Tilt

  • Gamme de tilt Alpha (α) avec pièces polaires JEOL HR = ± 20 °.
  • Gamme de tilt Beta (β) avec pièces polaires HR = ± 20 ° (± 12 ° avec diaphragme objectif inséré).
  • Haute stabilité pour résolution à l’échelle atomique.

Cartouche MET/FIB amovible

  • Cartouche FIB amovible afin de pouvoir préparer plusieurs échantillons FIB pour observation avec le même porte-objet CLS. Après la préparation FIB, la ré-observation en imagerie MET peut être effectuée sans changer la position de l’échantillon.
  • Possibilité d’observation en imagerie MET sans réorientation de la position de l’échantillon après l’étape de préparation FIB.
  • Facilité de nettoyage de la cartouche FIB avec nettoyeur Plasma.
  • Station de chargement dédiée pour le flux de travail FIB/MET.

Compatibilité

  • Compatible avec les MET du fabricant JEOL.