Système de rodage et de polissage de précision DL81/DL82

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DL81/DL82

Offrant le nec plus ultra en matière d’innovations de traitement, la série DL est le tout nouveau système de préparation d’échantillons hautement automatisé et intelligent de Logitech. Grâce à la régulation dynamique de la charge par les supports pneumatiques intelligents de Logitech, ce système garantit des résultats rapides, fiables et d’une grande précision pour une vaste gamme de matériaux utilisés dans le traitement des plaquettes de semi­conducteurs, des matériaux tendres et friables comme le phosphure d’indium (InP) et l’arséniure de gallium (GaAs) aux matériaux très durs tels que le carbure de silicium (SiC) et le diamant.

Description
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Spécifications
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Description

L'automatisation avancée réduit considérablement le temps de préparation et de nettoyage, tandis que le logiciel intégré offre une plateforme conviviale pour un traitement précis et contrôlé. Les gabarits pneumatiques intelligents de Logitech utilisent la pression de l'air pour appliquer une force d'appui allant jusqu'à 40 kg sur le mandrin, atteignant des vitesses de rotation jusqu'à 100 tr/min et assurant ainsi une application optimale de l'échantillon. Ceci garantit une grande précision géométrique, une rotation constante de l'échantillon et une excellente uniformité de la plaquette, pour des résultats reproductibles et de haute qualité tout au long du processus.

Spécifications

Capacité du gabarit DL81 1 x Gabarit pneumatique ­ capacité jusqu'à 200 mm (8")
Capacité du gabarit DL82 2 gabarits pneumatiques simultanément ­ chacun d'une capacité allant jusqu'à 8 pouces/200 mm
Options de gabarit AJ200 ­ 8"/200 mm | AJ150 ­ 6"/150 mm | AJ100 ­ 4"/100 mm
Vitesse du jig 100 tr/min
Hauteur 1975 mm
Plage de charge du gabarit 2 ­ 40 kg
Largeur 1639 mm
Profondeur 1141 mm
Alimentation Monophasé, terre, 220­240 V CA, 32 A
Diamètre de la plaque Jusqu'à 700 mm
Vitesse de plaque 100 tr/min
Direction de la plaque CCW
Débit de boue 5 à 100 ml/minute
Orifice d'échappement 150 mm de diamètre extérieur
Déchets de boues Système scellé intégré Logiwaste

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