Equipé d’une cartouche amovible pour flux de travail avec SEM/FIB.
Le porte-objet MET double tilt CLS a été développé en collaboration avec l’université Kyushu au Japon.
Valeur de Tilt
- Gamme de tilt Alpha (α) avec pièces polaires JEOL HR = ± 20 °.
- Gamme de tilt Beta (β) avec pièces polaires HR = ± 20 ° (± 12 ° avec diaphragme objectif inséré).
- Haute stabilité pour résolution à l’échelle atomique.
Cartouche MET/FIB amovible
- Cartouche FIB amovible afin de pouvoir préparer plusieurs échantillons FIB pour observation avec le même porte-objet CLS. Après la préparation FIB, la ré-observation en imagerie MET peut être effectuée sans changer la position de l’échantillon.
- Possibilité d’observation en imagerie MET sans réorientation de la position de l’échantillon après l’étape de préparation FIB.
- Facilité de nettoyage de la cartouche FIB avec nettoyeur Plasma.
- Station de chargement dédiée pour le flux de travail FIB/MET.
Compatibilité
- Compatible avec les MET du fabricant JEOL.