CMP Tribo
Le système Logitech CMP Tribo est un système de polissage chimicomécanique (CMP) de table conçu pour l’étude des procédés de fabrication de plaquettes, notamment les interactions entre la plaquette, le tampon et la suspension abrasive. Ses principaux domaines d’application sont la planarisation et le délaminage par CMP, et secondairement la tribologie.
Description
Le CMP Tribo atteint les normes de l'industrie en matière de contrôle et d'élimination des couches pour le CMP et produit des surfaces de qualité laser (0/0 rayure, piqûre), améliorant ainsi la topographie de surface.
Le système permet d'obtenir une élimination de matière à l'échelle nanométrique sur une large gamme de plaquettes. substrats utilisés dans les procédés de fabrication des dispositifs actuels.
Système extrêmement polyvalent, le CMP Tribo peut être personnalisé grâce à l'utilisation de différentes têtes porteuses, de gabarits de polissage, de modules de banc humide ou de détection de point final.
Spécifications
| Capacité des plaquettes : | Jusqu'à 100 mm/4" |
| Hauteur | 1150 mm |
| Profondeur | 800 mm – 985 mm (écran compris) |
| Largeur | 1240 mm – 1380 mm (tuyaux compris) |
| Alimentation | 220 V 240 V, entrée unique, 16 A, 50/60 Hz |
| Vitesse de plaque | 0 100 tr/min |
| Diamètre de la plaque | 400 mm |
| Rotation de la plaque | CW et CCW |
| Vitesse porteuse | 10 à 100 tr/min |
| Contrepression du transporteur | 0 50 psi |
| Pression descendante du transporteur | Pression maximale : 0,4 psi / 2,8 kPa ; charge maximale : 9 psi / 62 kPa |
| Poids de la machine | 260 kg |
| Débit de boue | 20 500 ml/min |
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