Platine froide Cryo
Platine refroidie à 80K à monter sur la platine MEB/FIB.
Les températures atteignables sont dans la gamme -190°C jusqu’à +100°C.
Platine froide Peltier
Le module Peltier s’installe dans une chambre MEB comme un grand échantillon. Le contrôleur PID inclut ainsi que le design de la géométrie du module permet un contrôle précis et rapide de la température (1/10 °C).
Module de traction (compression) 5 kN
Ce module de traction (en option la compression) dédié MEB (et certains équipements AFM) s’intègre comme un échantillon de grande taille sur la platine motorisée du MEB. Les éprouvettes doivent avoir une longueur comprise entre 20 et 60 mm et une épaisseur de 5 mm maximum.
Module de transfert in-situ MEB sous vide et boite à gant
Ce module de transfert est un système spécifique qui s’installe dans un MEB. Il a été conçu comme une capsule étanche pour déplacer des échantillons délicats et sensibles du MEB à la boîte à gants et vice-versa. Les échantillons sont donc protégés de l’air ambiant (oxydation) ou de l’humidité durant le transport.
Platine chauffante in-situ MEB 300°C
Platine chauffante in-situ MEB 500°C
Platine chauffante in-situ MEB 800°C
Platine chauffante 1 050°C (type « module de transfert »)
Platine chauffante 1 500°C (type « module de transfert »)
