Un système de fraisage et de polissage ionique de pointe. Il est compact, précis et produit systématiquement des échantillons de microscopie électronique à balayage (MEB) de haute qualité dans les plus brefs délais pour une grande variété d’applications.
- Deux sources d’ions TrueFocus réglables indépendamment
- Fonctionnement à haute énergie pour un fraisage rapide ; fonctionnement à faible consommation d’énergie pour le polissage des échantillons
- La source d’ions conserve son petit diamètre de faisceau sur une large gamme d’énergies de fonctionnement
- (100 eV à 10 keV)
- Écran tactile réglable de 10 pouces avec une interface conviviale pour une configuration simple des paramètres de fraisage
- Créez des échantillons de coupe transversale impeccables avec la station de coupe transversale (facultatif)
- Contrôle indépendant du gaz source d’ions
- Plage d’angle de fraisage réglable de 0 à +10°
- Visualisation in situ et capture d’images pendant le fraisage
- Basculement ou rotation de l’échantillon avec séquençage par faisceau d’ions
- Arrêt automatique en fonction du temps ou de la température
- Platine d’échantillonnage refroidie à l’azote liquide (en option)
- Capsule de transfert sous vide ou sous gaz inerte (en option)
FRAISAGE IONIQUE
Le broyage ionique est utilisé en sciences physiques pour améliorer les caractéristiques de surface de l'échantillon. Un gaz inerte, généralement de l'argon, est ionisé puis accéléré vers la surface de l'échantillon. Grâce au transfert d'impulsion, les ions impactants pulvérisent le matériau de l'échantillon à une vitesse contrôlée.
Préparation avancée des échantillons
Pour de nombreux matériaux avancés d'aujourd'hui, l'analyse par SEM est une technique idéale pour étudier rapidement la structure et les propriétés des matériaux. Le broyeur SEM Fischione modèle 1061 est un excellent outil pour créer
les caractéristiques de surface de l'échantillon nécessaires à l'imagerie et à l'analyse SEM.
Accepte de grandes tailles d'échantillons
Le broyeur SEM accepte les tailles d'échantillon suivantes :
- Section transversale* Maximum :
0,39 x 0,39 x 0,157 po (10 x 10 x 4,0 mm)
Minimum :
0,12 x 0,12 x 0,028 po (3 x 3 x 0,7 mm) - Planaire
de 1,25 po de diamètre x 1 po de hauteur (32 x 25 mm).
La détection automatique de l'épaisseur de l'échantillon maximise le débit, tandis que le codage magnétique offre une précision de positionnement absolue.
Station de coupe transversale (en option)
La station de section transversale de Fischione Instruments est un outil permettant de créer des échantillons de section transversale vierges prêts pour le broyage ionique dans le broyeur SEM.
La station permet un positionnement précis de la zone d'intérêt et peut être utilisée avec une grande variété de matériaux, notamment des dispositifs semi-conducteurs, des multicouches, des céramiques et des matériaux durs/cassants. La région d’intérêt préparée est intacte et exempte de dommages pour une imagerie et une analyse SEM ultérieures.
Des échantillons transversaux de haute qualité peuvent être produits rapidement et facilement en fixant un masque à un échantillon dans la station de chargement conviviale. Cette méthode de préparation des échantillons préserve la qualité des couches internes et permet l’imagerie et l’analyse du matériau dans son état natif.
La station est conçue pour s'adapter à une large gamme de tailles d'échantillons ; l'alignement du masque et de l'échantillon se fait à la fois latéralement et angulairement.
DES ÉCHANTILLONS DE SECTIONS TRANSVERSALES FACILITÉS – La station de sections transversales de Fichione Instruments
(en haut) est un outil optionnel pour la création rapide d'échantillons de sections transversales impeccables. La station permet un positionnement précis de la zone d’intérêt (au milieu) – x, y et θ. L'échantillon de section transversale résultant (en bas) est prêt pour le broyage ionique dans le broyeur SEM modèle 1061.
LOAD LOCK – Verrou de charge fermé (à gauche) et verrou de charge ouvert (à droite).
Transfert d'échantillon rapide
Le broyeur SEM est doté d'un verrou de charge sous vide
pour un échange rapide d'échantillons. Le verrou de charge est conçu de manière ergonomique ; soulevez simplement le couvercle du verrou de chargement pour charger le porte-échantillon sur la scène.
Remettez le couvercle et l'évacuation du sas de chargement se produit en quelques secondes. Le vide maintient le couvercle du verrou de charge en place pendant le broyage ionique. Un élévateur à commande électronique déplace ensuite l'échantillon en position de fraisage.
À la fin du processus de broyage, le porte-échantillon retourne dans le sas de chargement, mais reste sous vide jusqu'à ce qu'il soit purgé par l'utilisateur. La ventilation ne prend que quelques secondes.
Capsule de transfert sous vide ou sous gaz inerte (en option)
Une capsule sous vide en option vous permet de transférer l'échantillon vers le SEM sous vide ou sous gaz inerte.
Réglage précis de l'angle
Les sources d'ions sont inclinées pour fournir l'angle de fraisage souhaité. Les angles d'inclinaison de la source d'ions réglables en continu vont de 0 à +10°. Les angles de la source d'ions sont ajustés à l'aide des commandes de source d'ions gauche et droite.
Vous pouvez choisir d'utiliser l'une ou les deux sources d'ions TrueFocus. Si vous utilisez les deux sources d’ions, vous pouvez régler les angles du faisceau indépendamment.
Lorsque les deux faisceaux d'ions sont dirigés vers l'une des surfaces de l'échantillon, les taux de broyage sont doublés ; cette capacité est utile pour des applications telles que le polissage planaire d'échantillons.
Réglage automatisé de l'angle de fraisage (en option)
Le réglage automatisé de l'angle de fraisage à l'aide de l'écran tactile est une option disponible pour le broyeur SEM. L'ajout de cette fonctionnalité vous permet de créer des séquences de fraisage en plusieurs étapes incluant l'ajustement automatique des angles de fraisage tout au long du processus de fraisage.
RÉGLAGE DE L'ANGLE DE FRAISAGE
Le broyeur SEM modèle 1061 de base est équipé de commandes d'angle de fraisage réglables manuellement pour les deux sources d'ions. L'angle de fraisage de chaque source d'ions est réglable indépendamment. Le réglage automatisé de l'angle de fraisage, contrôlé via l'écran tactile du broyeur SEM, est facultatif.
Chambre
La chambre à vide du broyeur SEM reste sous vide continu pendant le fonctionnement. Un verrou de charge isole le vide élevé de la chambre de l'environnement pendant l'échange d'échantillons, garantissant ainsi des conditions de vide optimales.
Mouvement d'échantillon programmable
La rotation de l'échantillon est de 360° avec une vitesse de rotation variable et une fonction de bascule de l'échantillon. L'instrument détecte automatiquement l'épaisseur de l'échantillon et établit le plan de fraisage, ce qui maximise le débit. Un encodeur magnétique offre une précision de positionnement absolue.
Refroidissement par étapes intégré (en option)
Bien que le fraisage à faible angle avec de faibles énergies de faisceaux d’ions réduise l’échauffement des échantillons, les échantillons sensibles à la température peuvent nécessiter un refroidissement supplémentaire. Le refroidissement à l'azote liquide de la platine d'échantillonnage est très efficace pour éliminer les artefacts induits par la chaleur. Le broyeur SEM peut atteindre des températures supérieures à -170 °C.
Le système d'azote liquide du broyeur SEM comprend un dewar situé à l'intérieur de l'enceinte qui est entièrement intégré et verrouillé. Le dewar est positionné près de l’opérateur pour un accès facile. Deux options de Dewar sont disponibles : un Dewar standard pour les applications qui nécessitent 3 à 5 heures de refroidissement pendant le broyage ionique, ou un Dewar étendu pour les applications qui nécessitent plus de 18 heures de fonctionnement dans des conditions cryogéniques. La température est affichée en permanence sur l'écran tactile.
Résiliation automatique
Le processus de broyage ionique peut être automatiquement interrompu en fonction du temps écoulé ou de la température.
Temps
Une minuterie permet de poursuivre le broyage pendant une durée prédéterminée, puis coupe l'énergie des sources d'ions lorsque le temps est écoulé. L'échantillon reste sous vide jusqu'à ce que le sas de charge soit purgé.
Température
La protection thermique associée au système de refroidissement de l'échantillon arrêtera le processus si la platine d'échantillonnage atteint une température prédéfinie.
Caractéristiques
| Source d'ions | Deux sources d'ions TrueFocus Fonctionnement à énergie variable (100 eV à 10,0 keV) Densité de courant de faisceau jusqu'à 10 mA/cm2 Densité de courant de faisceau jusqu'à 10 mA/cm2 Plage d'angle de fraisage de 0 à +10˚ Choix de fonctionnement avec une ou deux sources d'ions Manuel ou réglage motorisé (en option) de l'angle de la source d'ions Contrôle indépendant de l'énergie de la source d'ions Cuvettes de Faraday à taille de spot réglable pour la mesure directe du courant de faisceau de chaque source d'ions ; permet l'optimisation et l'ajustement des paramètres de la source d'ions pour des applications spécifiques |
| Étape d'échantillonnage | Taille de l'échantillon : • Section transversale* Maximum : 0,39 x 0,39 x 0,157 po (10 x 10 x 4,0 mm) Minimum : 0,12 x 0,12 x 0,028 po (3 x 3 x 0,7 mm) • Planaire 1,25 po de diamètre x 1 po Hauteur (32 x 25 mm) Détection automatique de l'épaisseur de l'échantillon pour établir le plan de fraisage et maximiser le débit Détection automatique de l'épaisseur de l'échantillon pour établir le plan de fraisage et maximiser le débit Rotation de l'échantillon à 360 ° avec vitesse de rotation variable Basculement de l'échantillon L'encodeur magnétique offre une précision de positionnement absolue. |
| Station de coupe transversale (en option) | Produit des échantillons de section transversale impeccables Permet un positionnement précis de la zone d'intérêt – x, y et θ Efficace pour une utilisation avec une grande variété de matériaux, y compris les dispositifs semi-conducteurs, les multicouches, les céramiques et les matériaux durs/cassants La région d'intérêt préparée est plate et exempt de dommages pour l'imagerie et l'analyse SEM ultérieures. S'adapte à une large gamme de tailles d'échantillons et de masques : • L'échantillon et le masque s'alignent latéralement et angulairement. • Utilisations multiples à partir d'un seul masque. |
| Refroidissement des échantillons (facultatif) | Refroidissement conducteur à l'azote liquide avec Dewar intégré et verrouillage automatique de la température Accès au Dewar positionné à proximité de l'opérateur de l'instrument Possibilité de programmer et de maintenir une température spécifique entre ambiante et cryogénique Choix de : • Capacité de Dewar standard (3 à 5 heures de conditions cryogéniques) • Capacité de Dewar étendue ( 18+ heures de conditions cryo) |
| Résiliation automatique | Arrêt automatique en fonction du temps ou de la température |
| Système de vide | Pompe à traînée turbomoléculaire et pompe à membrane multi-étages sans huile Détection du vide avec une jauge à cathode froide et plage complète |
| Capsule de transfert sous vide ou sous gaz inerte (en option) | Permet le transfert ou le stockage d'un échantillon sous vide ou dans un environnement de gaz inerte |
| Gaz de procédé | Argon UHP (99,999 %) ; Pression de refoulement nominale de 15 psi requise Contrôle automatique du gaz à l'aide de deux contrôleurs de débit massique |
| Interface utilisateur | Fonctionnement de l'instrument contrôlé via un écran tactile de 10 pouces ergonomiquement réglable Indicateur lumineux de pile pour déterminer l'état des opérations de fraisage à distance (en option) |
| Microscope (facultatif) | La fenêtre de verrouillage de charge peut accueillir les microscopes suivants : • Fixation pour microscope stéréo 7 à 45X pour l'observation directe des échantillons • Microscope à fort grossissement 525X et système de caméra CMOS (semi-conducteur à oxyde métallique complémentaire) pour l'acquisition et l'affichage d'images spécifiques au site • Microscope à fort grossissement 1 960X et système de caméra CMOS pour l'acquisition et l'affichage d'images spécifiques au site |
| Visualisation et imagerie in situ | L'échantillon peut être surveillé in situ en position de fraisage lors de l'utilisation du microscope stéréo ou à fort grossissement. Fenêtre de visualisation protégée par un obturateur programmable qui empêche l'accumulation de matériau pulvérisé et préserve la capacité d'observer l'échantillon in situ. |
| Exemple d'éclairage | Les microscopes à fort grossissement et stéréo sont dotés de sources de lumière qui fournissent un éclairage réfléchi de l'échantillon de haut en bas, réglable par l'utilisateur. |
| Enceinte | Largeur (comprend l'espace de chaque côté pour l'accès au service : 50 po (127 cm) Hauteur : • Hauteur minimale (sans options de microscope ni de colonne lumineuse) : 32 po (61 cm) • Hauteur maximale (avec option de colonne lumineuse) : 38 po (77 cm) Profondeur (comprend un espace pour l'accès à l'entretien et le flux d'air du ventilateur d'extraction) : 40 po (102 cm) La conception du boîtier offre un accès facile aux composants internes lors de l'exécution de tâches de maintenance |
| Poids | 161 lb (73 kg) |
| Pouvoir | 100/120/220/240 VCA, 50/60 Hz, 720 W |
| garantie | Un ans |