Système Evactron combiné « CombiClean TM » intégrant un système de nettoyage In-Situ + chambre de nettoyage externe.
Evactron® CombiCleanTM System
Découvrez Evactron® CombiCleanTM System
Le système Evactron « Combiclean » dispose d’une chambre sous vide intégrée pour le nettoyage des échantillons et des accessoires, ainsi qu’une source Plasma (PRS) pour le nettoyage In-Situ de vos équipements E-Beam MEBs, FIBs ou autres équipements analytiques soumis à la contamination carbone.
Il fonctionne sur le même principe de la source plasma (PRS) présenté dans la gamme Evactron In-Situ.
Une simple pression sur un bouton déclenche le processus de nettoyage.
Spécifications et avantages.
Technologie VentDetectTM avec jauge à vide intégrée qui déclenche le démarrage.
Compatible avec les pompes à palettes (sans préoccupation de retour d’huile).
Purge au nitrogène sec permettant aux échantillons de rester propres après le nettoyage « plasma ».
Mode de stockage permettant de continuer à purger les échantillons au nitrogène sec lorsque la source plasma PRS est en route.
Système de gestion des 2 sources PRS
Système embarqué permettant de commuter entre les modes de nettoyage internes et externes par bouton poussoir.
Large gamme de pression.
Consommation électrique : 90-250 VAC, 50/60 Hz
Puissance : puissance RF : 0-25 Watts
Dimension physique : 210 mm x 652 mm x 270 mm.
Tableau de spécifications.
Plasma « Downstream »
- Décontamination sans risque des hydrocarbonés sans dommage des matériels sensibles utilisées en microscopie électronique (fenêtres des détecteurs EDX)
- Décontamination rapide avec une opération de 10 minutes 1 fois/semaine
- Avéré sûr et efficace par une communauté de 1200 utilisateurs à travers le monde
Compact et intégré
- Dédié à une solution complète de nettoyage 2 en 1 avec un système Evactron réf 25 intégré et une chambre sous vide
- Portable pour utilisation sur un parc d’équipements en microscope électronique
Utilisation polyvalente des gaz
- Fonctionne à air ambiant pour la facilité et la limitation des frais d’utilisation
- Peut aussi être utilisé avec gaz non corrosifs, permettant la synthèse de gaz chimiques pour échantillons dédiés
Purge à Azote
- Prévient des remontées d’huile durant le stockage de l’échantillon sous mode stockage sous pression
- Compatible avec les pompes à palette ou les pompes sèches
- Permet le stockage dans une chambre nettoyée, prévient l’échantillon d’une recontamination même lorsque la source PRS externe est en fonctionnement
Sources Radical Plasma internes et externes
- Nettoyage des accessoires, des spécimens et du porte-objet MET avec la source PRS interne
- Nettoyage des surfaces E-Beam, de vos systèmes d’imagerie MEBs ou FIBs ou autres équipements analytiques en prévention des décontaminations carbone grâce à la source PRS externe
- Commutation entre nettoyage interne ou externe par simple bouton switch
Manchon d’adaptation TEM multiple
- 2 ports horizontaux pour nettoyage de porte-échantillons MET (adaptation spécifique optionnelle)
- Capacité à nettoyer simultanément 2 échantillons MET en évitant une recontamination ou un dommage de l’échantillon
Compartiment supérieur de chargement
- Placement facile des échantillons MEB avec éléments ajustables en hauteur