NanoClean – Modèle 1070

NETTOYER LES GRANDS OBJETS ET GRILLES

Outre les applications traditionnelles de la microscopie électronique, de nombreux autres objets peuvent bénéficier du traitement par plasma. Les objets plus grands, tels que des morceaux de tranches de semi-conducteurs ou des supports de microscopie électronique à balayage (MEB), de microscopie à force atomique (ATM) ou de spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS), peuvent également être nettoyés.
Pour les applications de microscopie électronique à transmission biologique (TEM), les grilles peuvent être soumises au plasma pour favoriser le mouillage hydrophile.

La microscopie électronique exige des échantillons et des supports propres

Des échantillons propres et bien préparés sont impératifs pour l’imagerie et la microanalyse en microscopie électronique. La TEM exige que les échantillons soient préparés sans altérer leur microstructure ou leur composition.
Les microscopes électroniques modernes dotés de sources d'électrons à haute luminosité telles que les filaments LaB6 et les canons à émission de champ (FEG) utilisent une petite sonde électronique avec un courant de faisceau élevé pour la microanalyse, produisant des images haute résolution ainsi que des données analytiques améliorées. À mesure que la taille de la sonde diminue et que la densité du courant du faisceau augmente, les échantillons ont tendance à être facilement contaminés. En conséquence, la qualité de l’échantillon et la propreté de l’échantillon et du porte-échantillon sont plus importantes que jamais.
La contamination provient généralement de plusieurs sources : contact accidentel d'échantillons ou de porte-échantillons, contamination de la colonne du microscope électronique et adhésifs ou solvants utilisés dans le processus de préparation. Même lorsque l'on prend grand soin de nettoyer l'échantillon, les méthodes de nettoyage standard ne sont souvent pas totalement efficaces.

Modèle 1070 NanoClean pour les applications de microscopie électronique

Le Fischione modèle 1070 NanoClean nettoie les échantillons et les supports immédiatement avant leur insertion dans un microscope électronique. Le nettoyage au plasma élimine les débris carbonés existants de l'échantillon et empêche la contamination pendant l'imagerie et l'analyse.
Un plasma en aval à faible énergie, à couplage inductif et à haute fréquence nettoie efficacement la surface de l'échantillon sans modifier sa composition élémentaire ou ses caractéristiques structurelles. Les échantillons fortement contaminés peuvent être nettoyés en deux minutes ou moins.
Le NanoClean accepte facilement un ou deux porte-échantillons à entrée latérale pour tous les TEM commerciaux et microscopes électroniques à transmission par balayage (STEM), et peut accepter des échantillons en vrac à nettoyer avant d'effectuer une analyse SEM ou scientifique de surface.

Nettoyage des échantillons et des supports

Le NanoClean élimine la contamination d'une grande variété de matériaux préparés par diverses
techniques. Le porte-échantillon est inséré via un port dans la chambre à plasma. Le port contient une surface d'étanchéité sous vide compatible avec le joint torique du porte-échantillon.
La chambre est configurée pour accepter un ou deux ports de porte-échantillon. Des ports sont disponibles pour les porte-échantillons à entrée latérale pour microscopes électroniques fabriqués par :

• Société FEI/Philips Electron Optics
• Hitachi Hautes Technologies Amérique Inc.
• JEOL Ltd.
• Microscopie Carl Zeiss

Les ports sont facilement interchangeables sans outils en seulement 10 secondes.
Pour nettoyer les échantillons contenant des quantités importantes de carbone ou les échantillons montés sur des grilles de support en carbone, des ports blindés pour porte-échantillons sont disponibles pour optimiser la vitesse de nettoyage du plasma.

Imaginer en toute confiance

Le nettoyage au plasma est une étape finale essentielle dans la préparation des échantillons pour la microscopie électronique. Utilisez le NanoClean pour être sûr que la contamination carbonée n’interférera pas avec l’imagerie ou l’analyse, même pendant une microanalyse à sonde fine pendant des périodes prolongées.

Nettoyage plasma pour SEM (EDX)

Les avantages du nettoyage au plasma ne concernent pas seulement la MET, mais également les échantillons en vrac, qui peuvent être facilement introduits par l'orifice supérieur de la chambre. Les échantillons destinés à l'analyse SEM et de surface peuvent être nettoyés ainsi que les porte-échantillons, les bandes d'ouverture, les pinces, les anneaux de serrage des échantillons et tout ce qui peut être placé dans la chambre à plasma.

Chambre à plasma

Le plasma est créé dans une chambre cylindrique en quartz et en acier inoxydable. Une dynamique des gaz sophistiquée garantit que le plasma est réparti uniformément dans la chambre pour nettoyer l'échantillon avec un échauffement négligeable. Une antenne haute fréquence, située à l'extérieur de la chambre, couple par induction la puissance électromagnétique oscillante au gaz de traitement contenu dans la chambre. Aucun des composants de l'instrument n'est situé à l'intérieur de la chambre.
Les réceptacles sur la surface avant de la chambre peuvent accepter deux ports pour les porte-échantillons de microscopie électronique standard. Un hublot permet d'observer l'intérieur de la chambre. Un couvercle au-dessus de la chambre permet de placer des objets plus gros dans le plasma.

Système de vide

Un système de vide sans huile est essentiel pour éviter la contamination. Le système de vide du NanoClean se compose d'une pompe à traînée turbomoléculaire et d'une pompe à membrane multicellulaire, une combinaison idéale pour établir des caractéristiques de vide appropriées pour activer et entretenir le plasma. Le niveau de vide est mesuré par une jauge Pirani.
La chambre comprend un verrou de chargement pour un échange rapide des échantillons qui permet de commencer le nettoyage au plasma presque immédiatement après l'insertion d'un échantillon. Une vanne à commande électronique isole la chambre à plasma du système de vide. Le temps de pompage de la chambre est inférieur à 50 secondes. De plus, la chambre peut être purgée dans les 5 secondes suivant la fin du traitement au plasma. Ces fonctionnalités rendent le NanoClean idéal pour les applications à haut débit.
Le NanoClean peut également être utilisé pour évacuer les conteneurs de stockage sous vide de porte-échantillons individuels et les dewars de porte-échantillons TEM de cyrotransfert.
Un bouchon de port inséré dans le port du porte-échantillon scelle la chambre sous vide lorsque l'instrument n'est pas utilisé.

Source de courant

L'alimentation oscillante haute fréquence (13,56 MHz) est utilisée pour initier et entretenir un plasma à couplage inductif (ICP) de faible énergie. Un ICP est idéal pour les applications de microscopie car il délivre des ions avec une énergie suffisamment faible pour que les propriétés de l'échantillon ne soient pas altérées.
Un réseau d'adaptation automatique garantit que la puissance haute fréquence est efficacement couplée au
plasma et que la puissance délivrée est adaptée à l'application. Le réseau d'adaptation régule la puissance du plasma pour diverses conditions, objets à traiter ou gaz utilisés. Il garantit également la compatibilité du plasma avec les porte-échantillons produits pour divers microscopes électroniques.
Un blindage efficace empêche les interférences haute fréquence et est entièrement conforme aux directives de la FCC.

Gaz de procédé

Le NanoClean contient trois régulateurs de débit massique et est conçu pour accepter plusieurs gaz. En règle générale, le mélange gazeux éprouvé de 25 % d’oxygène et 75 % d’argon est connecté à l’une des entrées de gaz. Le NanoClean est équipé de deux entrées de gaz supplémentaires qui acceptent des alimentations en gaz pouvant être mélangées à l'aide de la technologie de débit massique interne du NanoClean.

Caractéristiques