Système EDS

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SAMx Plus.

Système EDS pour Microscope Electronique à Balayage incluant le meilleur détecteur SDD, tous les outils EDS et l’imagerie spectrale.

Description
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Logiciel IDFix
Téléchargements

Pulse Numérique (NUMERIX +)

  • Taux de comptage maximum de 500Kcps/s.
  • 4 Constantes de temps sélectionnables de 4 à 0,3µs.
  • Nombre d’eV/canal sélectionnable de 1,25 à 40.
  • Affichage du spectre sur 512, 1024, 2048, 4096 ou 8192 canaux.
  • Sélection de 10 ROI simultanées pour la cartographie.
  • Communication avec PC en mode USB2.

 

Boîtier de pilotage du faisceau (DISS 5)

  • Acquisition d’images électroniques en mode rapide et/ou moyenné.
  • Résolution d’images : de 64 à 2048 pixels.
  • Images de formes carrées, rectangulaires.
  • Entrées vidéo (SE, BSE….).
  • Communication avec PC en mode USB2.

 

Logiciel EDS IDFIX

 

Analyse qualitative du spectre :

  • Affichage du spectre en mode pleine échelle, en mode zoomé.
  • Affichage du spectre en mode linéaire ou logarithmique.
  • Soustraction du fond continu.
  • Ajout de commentaires sur le spectre.
  • Identification des pics automatiquement, manuellement ou par défilement des marqueurs d’éléments.
  • Outil de comparaison, de superposition de spectres.
  • Outil de combinaison arithmétique de spectres.
  • Affichage des pics d’échappement sous forme de marqueurs ou de spectre.
  • Environnement graphique au choix d’un ou de plusieurs utilisateurs.

 

 

 

Analyse quantitative du spectre :

  • Analyse quantitative avec ou sans standard. Il est possible d’avoir un seul standard pour tous les éléments.
  • Méthode quantitative utilisant les modèles ZAF, XPP ou PAP.
  • Modes de calcul :
    • Elément par difference.
    • Elément par stœchiométrie.
    • Elément dont la composition est connue.
  • Correction de la couche de métallisation de   l’échantillon ou du standard par un modèle simple (absorption) ou par le module de correction de SAMx (STRATAGEM) inclus dans le programme EDS.

Imagerie élémentaire :

  • Acquisition d’images vidéo SE / BSE.
  • Accumulation par pixel ou par image.
  • Résolution de 64*64 à 2048*2048 pixels.
  • Acquisition multipoints : par point, ligne, profil ou grille.
  • Mémorisation du spectre original en chaque point.
  • Acquisition en mode Mosaïque pour reconstruction d’images grand-champs.
  • Affichage de l’histogramme de l’image.
  • Affichage de l’intensité en niveau de gris par un curseur avec position du faisceau.
  • Zoom et mode pan.
  • Affichage de la distance entre 2 points.
  • Affichage de l’aire d’une zone.
  • Seuillage manuel ou automatique de l’image.
  • Environnement graphique au choix d’un ou de plusieurs utilisateurs.
  • Ajout de commentaires sur l’image.

Cartographie élémentaire :

  • Acquisition de cartographies X en balayage rapide.

  • Résolution de 64*64 à 2048*2048 pixels jusqu’à 10 éléments.

  • Sélection des régions d’intérêt manuellement ou automatiquement par la largeur à mi-hauteur.

  • Affichage en temps réel.

  • Ajout ou retrait d’un élément pendant l’acquisition.

  • Combinaison colorée d’un nombre illimité d’images.

Cartographie spectrale :

  • Acquisition de cartographies spectrales avec acquisition d’un spectre par pixel.
  • Résolution de 64*64 à 2048*2048 pixels.
  • Résolution du spectre de 1024 à 8192 canaux, 24 bits par canal.
  • Visualisation en temps réel de l’image combinée basée sur les éléments prédéfinis.
  • Génération simultanée des images X élémentaires.
  • Génération du spectre :
    •  Cumulé.
    • D’un point.
    • D’une ligne.
    • D’une ligne avec un nombre de points définis par l’utilisateur.
    • D’un profil (forme arête de poisson).
    • D’une zone de forme aléatoire.
    • D’une zone sélectionnée.

Analyse de phases :

Profil quantitatif :